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直冷式超低温制冷机

在使用油扩散泵的高真空情况中都保存着一定的剩余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸点的蒸汽,但其抽除剩余气体的能力低,时间长,并且所有剩余气体照旧工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。低温直冷机则是解决这类问题的上佳选择。

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